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7 days ago — 微影的高焦深鏡頭大幅拓展垂直聚焦範圍，提供遠大於業界的製程窗口（process window），即使在厚膜光阻、深蝕刻或磊晶後晶圓上，仍能維持高解析度與均勻曝光。
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